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电能转化为化学能，产生辐射化学或物理效应，使电子胶的分子链被切断或重新组合而形成分子量的变化以实现电子束曝光。采用这种方法，可以实现材料表面微槽或其他几何形状的刻蚀加工。

    2.特点

    1)由于电子束能够极其微细地聚焦，哈默纳科电子加速器谐波SHD-32-100-2SH甚至能聚焦到O.lE}m}所以加工面积可以很小，是一种精密微细的加工方法。微型机械中的光刻技术可达到亚微米级宽度。

    电子束加工设备的基本结构主要由电子哈默纳科电子加速器谐波SHD-32-100-2SH枪、真空系统、控制弃统和电源等部分组成。

    电子枪是获得电子束的装置，它包括电子发射阴极、控制栅极和加速阳极等。阴极经能流加热发射电子，带负电荷的电子哈默纳科电子加速器谐波SHD-32-100-2SH高速飞向带高电位的阳极。在飞向阳极的过程中，经过力!速极加速，又通过电磁透镜把电子束聚焦成很小的束斑。

    发射阴极一般用钨或担制成，在加热状态下发射大量电子。小功率时用钨或担做成些状阴极，大功率时用担做成块状阴极哈默纳科电子加速器谐波SHD-32-100-2SH，控湘栅极为中间有孔的圆筒形，其上加以较阴极为负的偏压，既能控制电子束的强弱，又有初步的聚焦作用。加速阳极通常接地，而阴极为很高的负电压，所以能驱使电子加速。